ALICAT防爆型气体质量流量计/控制器
l 差压原理,具有防爆*
l 量程范围:从0-0.5SCCM到0-4000SLPM
l 压力范围:1MPa
l 响应时间:流量计10ms/控制器100ms
l 精度:±(0.8%读数+0.2%满量程)
l 可选±(0.4%读数+0.2%满量程)
l *:ATEX、CSA,Class 1Division 2